日本ULVAC CFB-600N耐腐蝕分子泵技術(shù)資料

一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

        CFB-N系列耐腐蝕分子泵其葉輪采用國(guó)內(nèi)*的變截面葉齒，軸承采用陶磁精密軸承，以更高的可靠性實(shí)現(xiàn)了清潔無(wú)油的高真空環(huán)境，產(chǎn)品做了耐腐蝕的設(shè)計(jì)，具有*的耐腐蝕性能，廣泛應(yīng)用于光伏、照明、宇航、半導(dǎo)體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

• 由于對(duì)分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
• 軸承采用脂潤(rùn)滑陶瓷精密軸承，可以實(shí)現(xiàn)泵的任意角度安裝。

三、主要性能指標(biāo)

四、特性曲線及安裝尺寸

CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)大氣的抽速曲線 

CFB系列抗沖擊分子泵對(duì)氮?dú)饧皻錃鈮嚎s比曲線

 CFB-N系列耐腐蝕復(fù)合分子泵安裝尺寸表